بررسی اثر تحریک الکترواستاتیک بر رفتار الکترومکانیکی میکرو حسگرهای فشار خازنی
نویسنده
چکیده مقاله:
هدف از این پژوهش، بررسی رفتار الکترومکانیکی میکرو حسگرهای فشار خازنی و بررسی اثر اعمال تحریک الکترواستاتیک بر عملکرد و دقت این سیستم‌ها می‌باشد. حسگر به صورت یک صفحه دایرهای انعطاف پذیر در نظر گرفته شده است که یک فاصله اولیه از یک صفحه صلب دارد و بین آن دو خلاء است. در اثر فشار محیط و همچنین اعمال ولتاژ بین دو صفحه، ورق انعطاف پذیر خیز برداشته و به پایه ثابت نزدیک میگردد. با نزدیک شدن صفحه به پایه، ظرفیت خازنی بین آنها تغییر می‌کند که این تغییر وابسته به خیز صفحه انعطاف پذیر و یا به عبارتی وابسته به فشار محیط است. بنابراین در صورت معلوم بودن رابطه میان فشار و ظرفیت خازنی، می‌توان با اندازه گیری ظرفیت خازنی فشار محیط را محاسبه نمود. از این رو در کار حاضر، رابطه میان ظرفیت خازنی و فشار خارجی مطالعه گردیده است. در این راستا، نخست معادله حاکم بر خیز میکرو ورق تحت بار الکترواستاتیک و همچنین فشار خارجی استخراج شده است. این معادله با استفاده از روش گلرکین به یک معادله جبری تبدیل شده و با بکارگیری یک روش مبتنی بر تکرار حل شده است. در بخش نتایج، اثر پارامترهای مختلف مانند ولتاژ اعمالی و همچنین فشار محیط بر روی ظرفیت خازنی و حساسیت دستگاه مطالعه شده و همگرایی و دقت الگوریتم مبتنی بر تکرار نیز بررسی شده است.
منابع مشابه
کنترل بهینه میکروصفحه متصل به انتهای میکرو تیر یک سر درگیر تحت تحریک الکترواستاتیک
این مقاله، به طراحی کنترل کنندۀ بهینه برای میراسازی ارتعاشات یک مدل میکروسامانه تحت تحریک الکترواستاتیک غیرخطی می پردازد. هدف، استفاده از روشهای ممکن برای کاهش فراجهش بیشینه و زمان نشست در مدل کنترلی ارائه شده می باشد. این مدل از یک میکرو صفحه تحت تحریک الکترواستاتیک که به صورت ┴ شکل به انتهای میکروتیر یک سر درگیرمتصل شده، تشکیل شده است. نیروی الکترواستاتیک ناشی از اعمال ولتاژ الکتریکی بین میکر...
متن کاملطراحی، بهینه سازی و تحلیل دینامیکی حسگر فشار میکرو الکترومکانیکی
حسگرهای فشار پیزوالکتریکی امروزه کاربرد گسترده ای در صنایع مختلف پیدا کرده اند. اندازه، هزینه تمام شده، حساسیت و دقت این حسگرها، آنها را به محصولی مطلوب برای اهداف محققان و صنعتگران تبدیل کرده است. همچنین توسعه این حسگرها این امکان فراهم کرده است تا به دلیل اندازه کوچک کاربردهایی برای آنها تعریف شود که قبلاً ابزارهای مشابه قابلیت این کاربردها را نداشتند. در این پایان نامه به طراحی حسگر فشار، تحل...
مدلسازی و بررسی تجربی فشارسنج میکرو الکترومکانیکی پیزومقاومتی بر اساس الزامات عملکرد صنعت پتروشیمی
در این مقاله به بررسی تحلیلی و تجربی پکیج فشارسنج میکرو الکترومکانیکی پرداخته شده است. این پکیج فشارسنج از یک حسگر میکروالکترومکانیکی، برد مدار چابی، نمایشگر خازنی تشکیل شده است. در ابتدا، مدلسازی ریاضی و کامپیوتری با استفاده از نرم افزار کامسول ارائه شده که بر اساس تحلیل اجزاء محدود مقادیر خروجی ولتاژ و حساسیت از حسگر فشار میکروالکترومکانیکی پیزومقاومتی محاسبه شده است. شایان ذکر است که عنصر مق...
متن کاملبررسی میان‌کنش‌های الکترواستاتیک بتالاکتوگلوبولین و تراگاکانتین: گام نخست به سوی تولید میکرو و نانو ذرات بیوپلیمری
سابقه و هدف: بررسی رفتار کلوئیدی سامانه‌های پروتئین- پلی‌ساکارید، اهمیت روزافزونی برای فراهم‌آوری پایه‌ای مناسب در راستای دستیابی به کاربرد‌های مختلف آنها (مانند تولید میکرو و نانو ذرات بیوپلیمری، طراحی آنالوگ‌های غذایی و فناوری ریزپوشینه کردن) پیدا کرده است. هدف این پژوهش، بررسی گذارهای کلیدی ناشی از تغییر pH در جریان جدایش فازی تجمعی بتالاکتوگلوبولین و تراگاکانتین بود. مواد و روشها: تشکیل ...
متن کاملمنابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
عنوان ژورنال
دوره 9 شماره 2
صفحات 141- 152
تاریخ انتشار 2019-06-22
با دنبال کردن یک ژورنال هنگامی که شماره جدید این ژورنال منتشر می شود به شما از طریق ایمیل اطلاع داده می شود.
کلمات کلیدی
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023